Перечень сокращений и обозначений.............................................................. 4
Введение ............................................................................................................. 5
Глава 1. Методы исследования и повышения стойкости ИС к
радиационному воздействию..................................................................................... 12
1.1 Взаимодействие излучения и кремния............................................................12
1.2 Основные типы радиационных сбоев .............................................................15
1.3 Методы повышения радиационной стойкости ..............................................18
1.4 Множественные сбои........................................................................................27
1.5 Сечение сбоев ....................................................................................................28
1.6 Методы моделирования радиационных эффектов ........................................29
Выводы.....................................................................................................................32
Глава 2. Разработка комплексной методики повышения стойкости блоков
микросхем памяти к мягким сбоям........................................................................... 33
2.1 Исследование различных конфигураций буферов на стойкость к ТЗЧ ......33
2.2 Исследование стойкости к ТЗЧ различных конфигураций инвертора........39
2.3 Применение комплексной методики повышения стойкости блоков
микросхем памяти к мягким сбоям.......................................................................44
Выводы.....................................................................................................................53
Глава 3. Моделирование воздействия ТЗЧ на N-МОП структуру в
цилиндрических координатах ................................................................................... 54
3.1. Воздействие ТЗЧ на n-МОП структуру .........................................................54
3.2 Применение цилиндрической симметрии ......................................................56
3.3 Описание моделей трех типов структур в цилиндрических координатах и
решаемых на их основе задач ................................................................................60
3.4 Моделирование N-МОП структуры с единственной n+ областью..............62
3.5 Моделирование N-МОП структуры из пяти колец n+ областей,
разделенных STI......................................................................................................68
3.6 Моделирование N-МОП структуры из пяти колец n+ областей,
разделенных поликремнием...................................................................................72
3.7 Моделирование попадания иона в область STI .............................................78
3.8 Моделирование попадания ТЗЧ в P-МОП структуру ...................................81
3
3.9 Моделирование попадания иона ксенона в МОП-структуру.......................83
Выводы.....................................................................................................................87
Глава 4. Методика расчета сечения сбоя на основе результатов
моделирования распространения диффузионных токов ........................................ 89
4.1 Критерии возникновения сбоя в ячейке памяти ............................................89
4.2 Определение радиуса сбоя, вызванного диффузионным током ..................95
4.3 Методика расчетно-аналитической оценки сечения сбоя ..........................104
4.4 Вычисление сечения сбоя...............................................................................107
4.5 Сравнение результатов расчета с протоколом испытаний микросхемы
памяти.....................................................................................................................114
Выводы...................................................................................................................117
Заключение..................................................................................................... 119
Список литературы........................................................................................123
Приложение – Акты внедрения результатов диссертационной работы...146
