Введение ………………………………………………………………………… 4
Глава 1. Фазоизменяемые материалы как основа устройств фотоники
(литературный обзор) …………………………………………………………... 16
1.1. Фазоизменяемые материалы …………………………………………..
1.2. Природа оптического контраста в фазоизменяемых материалах……
1.3. Управляемые фазовые переходы в фазоизменяемых материалах …..
16
19
21
1.4. Фазоизменяемые материалы в прикладных задачах фотоники ……...
1.4.1. Методы получения тонкопленочных структур ………………..
1.4.2. Управление состоянием фазоизменяемых материалов в
интегральных структурах …………………………………………………
1.4.3. Интегральные устройства на основе фазоизменяемых
материалов ………………………………………………………………….
31
33
34
46
Выводы по Главе 1 …………………………………………………………… 52
Глава 2. Методы получения и исследования образцов ……………….............. 53
2.1. Подготовка и получение тонкопленочных образцов GeTe и
Ge2Sb2Te5 ………………………………………………………………………
2.1.1. Исходные материалы. Мишени для напыления ……………….
2.1.2. Выбор и подготовка подложек ………….……………………...
2.1.3. Напыление образцов тонких пленок GeTe и Ge2Sb2Te5 ….…...
53
53
53
53
2.2. Подготовка и получение образцов полимерных волноводов ………. 56
2.3. Исследование оптических свойств GeTe и Ge2Sb2Te5 ………………..
2.3.1. Оптическая спектрофотометрия тонкопленочных образцов …
2.3.2. Эллипсометрия тонкопленочных образцов ……...…………….
57
57
57
2.4. Структурные свойства образцов в различных фазовых состояниях …
2.4.1. Рентгеноструктурный анализ тонкопленочных образцов ……
2.4.2. Методы электронной микроскопии ……………………………
2.4.3. Метод спектроскопии комбинационного рассеяния ………….
58
58
60
63
3
2.5 Экспериментальная установка для in situ исследования динамики
оптических свойств тонкопленочных образцов GeTe и Ge2Sb2Te5 при
фазовом переходе, инициированном импульсным лазерным излучением… 64
2.6 Экспериментальная установка для исследования модуляции
оптического сигнала в полимерном волноводе …………………………….. 70
Выводы по Главе 2 …………………………………………………………… 72
Глава 3. Исследование динамики оптических свойств тонких пленок GeTe и
Ge2Sb2Te5 при импульсном лазерном воздействии …………………………... 73
3.1 Динамика оптических свойств GeTe при воздействии лазерного
излучения наносекундной длительности ……………………………………
3.2 Динамика оптических свойств Ge2Sb2Te5 при воздействии лазерного
излучения наносекундной длительности ……………………………………
3.3 Динамика оптических свойств Ge2Sb2Te5 при воздействии лазерного
излучения фемтосекундной длительности ………………………………….
77
83
90
3.4 Рассчетная модель фазового перехода в тонких пленках под действием
импульсного излучения на основе термокинетического подхода и теории
нуклеации …………………………………………………………………….. 99
Выводы по Главе 3…………………………………………………………….. 115
Глава 4. Модуляция оптического излучения в полимерном волноводе с
активной областью из Ge2Sb2Te5 под действием лазерных импульсов……… 117
4.1. Моделирование волноводной структуры на основе полимера SU-8…. 121
4.2. Экспериментальное исследование модуляции оптического сигнала в
полимерном волноводе с активной областью из Ge2Sb2Te5……………….. 122
Выводы по Главе 4 ……………………………………………………………. 125
Заключение ………………………………………………………...……………. 126
Список сокращений и условных обозначений ………………………………… 128
Благодарности ………………………………………………………………… 129
Список литературы …………………………………………………………… 130
