Введение .......................................................................................................................... 5
Глава 1 Обзор и анализ процессов массопереноса внутри установок нанесения покрытий ...................................................................................................................... 13
1.1 Обзор процессов массопереноса и анализ взаимодействия частиц в камере установки нанесения покрытий ................................................................................ 13
1.2 Тепловое излучение и процесс молекулярно-лучевой эпитаксии .................. 21
1.3 Обзор численных методов решения задач процессов массопереноса ........... 25
1.4 Выводы по главе .................................................................................................. 29
Глава 2 Математическое моделирование столкновений атомов над поверхностью конденсированной фазы и численные методы .......................... 31
2.1 Модель вылета атомов с поверхности конденсированной фазы и их столкновений .............................................................................................................. 31
2.2 Постановка задачи моделирования столкновения двух атомов после одновременного вылета с поверхности конденсированной фазы ........................ 34
2.3 Постановка задачи моделирования столкновения трех атомов после одновременного вылета с поверхности конденсированной фазы ........................ 37
2.4 Численные методы решения задачи расчета столкновений двух и трех атомов после одновременного вылета с поверхности конденсированной фазы ............. 41
2.5 Постановка задачи моделирования процесса нанесения покрытий ............... 43
2.6 Выводы по главе .................................................................................................. 47
Глава 3 Разработка алгоритмов и комплекса программ расчета столкновений атомов после одновременного вылета с поверхности конденсированной фазы ......................................................................................................................................... 49
3.1 Разработка алгоритма и комплекса программ расчета столкновений двух атомов после одновременного вылета с поверхности конденсированной фазы 49
3.2 Разработка алгоритма и комплекса программ моделирования столкновений трех атомов во времени при одновременном вылете с поверхности ................... 53
3.3 Разработка алгоритма и комплекса программ расчета параметров процесса нанесения покрытий методом молекулярно-лучевой эпитаксии ......................... 57
3.4 Выводы по главе .................................................................................................. 58
Глава 4 Апробация программной реализации и результаты численного моделирования столкновений атомов над поверхностью конденсированной фазы во времени и пространстве ............................................................................. 60
4.1 Результаты численного моделирования столкновений двух атомов во времени при одновременном вылете с поверхности ............................................................. 60
4.2 Результаты численного моделирования столкновений двух атомов в пространстве ............................................................................................................... 64
4.3 Результаты численного моделирования столкновений двух атомов во времени при одновременном вылете с поверхности с учетом потенциального барьера на поверхности конденсированной фазы ..................................................................... 69
4.4 Результаты численного моделирования столкновений двух атомов в пространстве с учетом потенциального барьера на поверхности конденсированной фазы ............................................................................................ 79
4.5 Результаты численного моделирование столкновений трех атомов во времени при одновременном вылете с поверхности ............................................................. 87
4.6 Результаты численного моделирования столкновений трех атомов в пространстве при одновременном вылете с поверхности ..................................... 92
4.7 Результаты численного моделирования напыления атомов на плоские поверхности ................................................................................................................ 97
4.8 Нано-дистанционное напыление ...................................................................... 103
4.9 Выводы по главе ................................................................................................ 109
Заключение ................................................................................................................. 111
Список литературы................................................................................................... 113
Приложение А Акты внедрения результатов диссертационного исследования ....................................................................................................................................... 131
Приложение Б Свидетельства о государственной регистрации программ для ЭВМ .............................................................................................................................. 134
Приложение В Код программы расчета столкновений 3-х атомов, одновременно вылетевших с поверхности конденсированной фазы ............. 136
Приложение Г Фрагмент кода программы расчета процесса нанесения покрытий на плоские поверхности ....................................................................... 141
