Введение ...................................................................................................................... 7
Глава 1. Маршруты и методы моделирования электростатических
микроэлектромеханических систем при спецвоздействиях........................... 15
1.1 Аналитический обзор методов моделирования
микроэлектромеханических систем при спецвоздействиях....................... 15
1.1.1 Маршруты проектирования электростатических
микросистем .......................................................................................... 19
1.1.2 Численные методы....................................................................... 22
1.1.3 Метод конечных элементов........................................................ 24
1.1.3 Методы моделирования полупроводниковых устройств при
спецвоздействиях.................................................................................. 28
1.2 Аналитический обзор программного обеспечения, используемого
для моделирования микроэлектромеханических систем при
спецвоздействиях ............................................................................................ 36
1.2.1 Использование SRIM для моделирования
микроэлектромеханических систем при спецвоздействиях............. 36
1.2.2 Использование Sentaurus TCAD для моделирования
микроэлектромеханических систем при спецвоздействиях............. 41
1.2.3 Интегрированный маршрут моделирования изменений
электрических характеристик электростатических элементов
фрактальных микроэлектромеханических при попадании
тяжёлых заряженных частиц ............................................................... 45
1.3 Фрактальные конструкции....................................................................... 47
Выводы по главе 1........................................................................................... 50
Глава 2. Разработка алгоритмов моделирования характеристик
микросистем при спецвоздействиях с использованием систем
приборно-технологического моделирования .................................................... 524
Cтр.
2.1 Параллельный алгоритм компьютерного моделирования
воздействия тяжёлых заряженных частиц на электростатические
фрактальные микросистемы .......................................................................... 53
2.2 Параллельный алгоритм компьютерного моделирования
воздействия тяжёлых заряженных частиц на электростатические
фрактальные микроэлектромеханические системы с использованием
параллельных архитектур .............................................................................. 58
2.3 Алгоритм компьютерного моделирования стойкости
распределённых электростатических фрактальных микросистем к
воздействиям тяжёлых заряженных частиц................................................. 62
2.4 Физические модели................................................................................... 64
2.5 Алгоритмы расчёта характеристик внедрения ионов ........................... 67
2.6 Аппроксимационный подход: полный и упрощённый цифровой
двойник............................................................................................................. 71
Выводы по главе 2........................................................................................... 76
Глава 3. Алгоритмы моделирования электростатических фрактальных
микроэлектромеханических систем при учете технологических
погрешностей ........................................................................................................... 78
3.1 Технологическое моделирование электростатических
микроэлектромеханических систем.............................................................. 78
3.2 Технологический процесс производства
микроэлектромеханических систем.............................................................. 80
3.3 Технологические погрешности при производстве
микроэлектромеханических систем.............................................................. 85
3.4 Модификация алгоритма компьютерного моделирования
воздействия тяжёлых заряженных частиц на электростатические
микросистемы с использованием систем приборно-технологического
моделирования ................................................................................................ 865
Стр.
3.4 Алгоритм оценки изменений механических характеристик
электростатических фрактальных микроэлектромеханических систем ... 88
3.5 Алгоритм генерации топологии электростатических фрактальных
микроэлектромеханических систем с заданными электрическими
характеристиками ........................................................................................... 92
Выводы по главе 3........................................................................................... 94
Глава 4. Программное обеспечение и результаты ........................................... 96
4.1 Обзор разработанного программного обеспечения .............................. 96
4.2 Оценка результатов работы программного обеспечения ..................... 99
4.2.1 Исследование алгоритмов компьютерного моделирования
электрических характеристик микроэлектромеханических систем
под воздействием тяжёлых заряженных частиц................................ 99
4.2.2 Исследование модифицированного алгоритма
компьютерного моделирования воздействия тяжёлых
заряженных частиц на электростатические
микроэлектромеханические системы с учётом технологических
погрешностей ...................................................................................... 104
4.2.3 Исследование алгоритма с использованием упрощенного
цифрового двойника ........................................................................... 106
4.2.4 Исследование алгоритма компьютерного моделирования
электрических характеристик распределённых
микроэлектромеханических систем под воздействием тяжёлых
заряженных частиц ............................................................................. 114
4.2.5 Исследование алгоритма оценки механических
характеристик микроэлектромеханических систем........................ 119
4.2.6 Исследование алгоритма формирования топологии
фрактальных микроэлектромеханических систем .......................... 123
Выводы по главе 4......................................................................................... 1256
Стр.
Общие выводы и заключение............................................................................. 127
Список использованной литературы................................................................ 129
