Введение
1 ГЛАВА. Анализ технологической микроструктуры дифакционного рельефа 18
1.1. Дифракционный рельеф и его микроструктура 18
1.2. Анализ методов формирования дифракционного рельефа на диэлектрических подложках 22
1.2.1. Метод прямой электронной литографической записи 22
1.2.2. Метод степенного литографического травления диэлектрических подложек 24
1.2.3. Метод прямой лазерной абляции алмазных пленок 25
1.2.4. Метод прямой лазерной абляции кварцевых пластин 29
1.3. Экспериментальное исследование микроструктуры дифракционного рельефа 31
1.4. Численная оптимизация дифракционного рельефа с учетом его технологической микроструктуры 32
Выводы Главы 1 47
2 ГЛАВА. Формирование и исследование рельефа дифракционных оптических элементов на алмазных пленках 48
2.1. Актуальность задачи синтеза элементов оптики мощных лазеров ИК-диапазона 48
2.2. Синтез и исследование плоских линз на алмазных пленках 52
2.3. ДОЭ, фокусирующие излучение СОг - лазера в двумерные области 62
2.4. Анализ влияния технологических погрешностей на характеристики алмазных ДОЭ 70
2.5. Анализ антиотражающей субволновой структуры, нанесенной на алмазную пленку 74
2.6. Определение параметров микрорельефа на основе электромагнитной теории 82
2.7. Формирование микрорельефа на алмазной пленке с помощью литографического травления 89
2.8. Оптимизация микрорельефа с учетом технологических погрешностей изготовления 90
2.9. Экспериментальное исследование фокусатора в круг 102
Выводы Главы 2 108
3 ГЛАВА. Модулированные дифракционные решетки для формирования одиночных мод в волноводах 109
3.1. Актуальность оптимизации микрорельефа дифракционных решеток, формирующих одиночные волноводные моды 109
3.2. Оптимизация и исследование ДОЭ, формирующих заданное ампли-тудно—фазовое одномодовое распределение 118
3.3. Формирование одиночных мод линзоподобных сред с помощью модулированных дифракционных решеток 145
3.4. Синтез и исследование ДОЭ, формирующих моду ступенчатого волокна 165
Выводы Главы 3 177
4 ГЛАВА. Исследование возможности передачи сигналов с помощью волноводных мод 179
4.1. Метод повышения пропускной способности систем оптической связи с помощью селекции поперечных мод 179
4.2. Экспериментальное исследование возможности уплотнения каналов оптической связи с помощью мод Гаусса — Эрмита 185
4.3. Экспериментальное исследование возможности применения полупроводниковых лазеров в системе оптической связи с модовым уплотнением каналов 191
4.4. Построение и исследование реальной модели системы волоконно-оптической связи с модовым уплотнением каналов в ступенчатом волокне 198
Выводы Главы 4 214
Заключение 215
