Введение
ГЛАВА 1. Аналитическое исследование конструкторско технологических методов центрировки линз и линзовых систем 13
1.1 Центрирование линзы и склеек линз при их изготовлении 13
1.1.1 Механические способы центрировки линзы 17
1.1.2 Оптические способы центрировки линз 21
1.1.3 Центрирование склеек при изготовлении 1.2 Современные центрировочные станки 29
1.3 Способы крепления линз в оправах и погрешности их центрировки
1.3.1 Крепление завальцовкой 32
1.3.2 Крепление резьбовым кольцом 34
1.3.3 Крепление приклеиванием 36
1.3.4 Способы повышения точности центрировки при креплении в оправах 38
1.4 Типовые конструкции линзовых объективов и погрешности их центрировки
1.4.1 Насыпная конструкция 42
1.4.2 Конструкция насыпной в оправах 43
1.4.3 Резьбовая конструкция 45
1.4.4 Комбинированная конструкция 47
1.4.5 Специальная конструкция 48
1.5 Методы расчета допусков на центрировку линз и линзовых компонентов объективов 50 Выводы по главе 1: 55
ГЛАВА 2. Методы повышения точности центрировки линз в оправах 56
2.1. Определение требований к оправам, обеспечивающим повышение точности центрировки линзовых компонентов 56
2.2. Результативная обработка оправ линзовых компонентов на автоматизированном оборудовании 63
2.3. Автоматизированная центрировка линз при вклейке в оправы 67
2.4. Повышение точности центрировки линз на станции «OptiCentric» 70
Выводы по главе 2: 73
ГЛАВА 3. Методы повышения точности центрировки линзовых систем и компенсации аберраций изображения из-задецентрировок линзовых компонентов 74
3.1. Повышение точности центрировки объективов типовых конструкций 74
3.2. Повышение точности центрировки объективов «штабельной» конструкции
3.3. Компенсация аберраций изображения, возникающих из-за децентрировок линзовых компонентов объективов 89
3.4. Определение юстировочных элементов объектива при компенсации аберраций, вызванных децентрировкой линзовых компонентов 94
Выводы по главе 3: 97
ГЛАВА 4. Разработка инженерной методики расчета допусков на центрировку линзовых компонентов объективов 98
4.1. Теоретические основы расчета допусков 99
4.2 Проектные и проверочные методы расчета точности центрировки линз 104
4.2.1 Проектные методы расчета допусков 104 4.2.2 Проверочные методы расчета допусков 108
4.2.3. Инженерная методика расчета допусков 111
4.3 Расчет допусков на центрировку линзовых компонентов объективов типовых конструкции 112
4.3.1 Пример расчета допусков на первичные погрешности центрировки линз объектива “Минитар 1Л” 113
4.3.2 Расчет допусков на линзовые компоненты фотолитографического объектива штабельной конструкции 118
4.4 Расчет юстировочных компенсаторов 120
Выводы по главе 4: 124
Заключение 125
Список литературы 126
