Введение
Глава 1. Полупроводниковый преобразователь как объект анализа брака и отказов 18
1.1 Определение полупроводникового преобразователя как объекта анализа брака и отказов 18
1.2 Особенности применения и адаптация некоторых методов анализа, принятых в полупроводниковой промышленности, к полупроводниковым преобразователям 24
1.2.1 Особенности и метод исследования полупроводниковых преобразователей в растровом электронном микроскопе 24
1.2.2 Определение некоторых видов отказов полупроводниковых преобразователей по наличию микроплазменного пробоя на вольт-амперной характеристике 31
1.2.3 Определение пониженного сопротивления и пробоев окисных и мембранных пленок методом жидких кристаллов 39
1.3 Дополнения процедуры анализа отказов полупроводниковых преобразователей, обусловленные спецификой технологических воздействий на корпус 47
1.4 Выводы 53
Глава 2. Принципы и подходы к проведению анализа брака и отказов полупроводниковых преобразователей 56
2.1 Составляющие, определяющие развитие и проведение анализа отказов полупроводниковых преобразователей 56
2.2 Определение и принципы получения моделируемой составляющей отказа полупроводникового преобразователя 63
2.3 Составляющая отказа, определяемая комплектующими элементами и материалами (комплектационная составляющая) 72
2.4 Анализ по комплектационной составляющей и принципиальные изменения плапарного технологического процесса изготовления кристаллов преобразователей 78
2.5 Выводы 84
Глава 3. Оперативный метод контроля коррозии, отвечающий задачам анализа причин брака и отказов полупроводниковых преобразователей 86
3.1 Обобщённое описание процессов коррозии 86
3.2 Применение метода ультрафиолетовой люминесценции для анализа отказов и производственного контроля коррозии 88
3.3 Выводы 108
Глава 4. Нестабильность нулевого сигнала как информативный источник информации о возможных эксплуатационных отказах полупроводниковых преобразователей 109
4.1 Классификация и влияние причин нестабильности нулевого сигнала полупроводниковых преобразователей на возникновение эксплуатационных отказов 109
4.2 Некоторые отказообразующие причины нестабильности нулевого сигнала в производстве полупроводниковых преобразователей 118
4.3 Выводы 136
Заключение 138
Список литературы 141
