Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела
Кобелев Антон Андреевич. Анализ потоков ионов из ВЧ газового разряда, используемого для процессов модификации поверхности твердого тела: диссертация ... кандидата Физико-математических наук: 01.04.04 / Кобелев Антон Андреевич;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2019