Введение
Глава 1. Диэлектрические слои с нановключениями на основе .
Методы создания, способы исследования, проявляемые свойства 14
1.1. Способы создания диэлектрических слоёв с нанокристаллами кремния
1.2. Особенности формирования нанокристаллов кремния в процессе высокотемпературного отжига 16
1.3. Энергетические параметры нанокристаллов кремния и электронные свойства
1.4. Люминесцентные свойства нанокристаллов кремния 22
1.5. Методы контроля параметров наноструктур
1.5.1. Просвечивающая электронная микроскопия 27
1.5.2. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 36
1.5.3. Метод вторично-ионной масс-спектрометрии 38
1.5.4. Электронная оже-спектроскопия 41
1.5.5. Дифракционные методы исследования 42
1.5.6. Спектроскопия комбинационного рассеяния 45
1.6. Выводы 47
Глава 2. Метод рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и методика эксперимента 49
2.1. Основы метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии 49
2.1.1. Физические основы метода 49
2.1.2. Интерпретация и анализ спектральных данных
2.2. Аппаратура для измерения 64
2.3. Методика послойного анализа 69
2.4. Ионное профилирование 70
2.5. Выводы 72
Глава 3. Модифицированная методика химического анализа 73
3.1. Методика проведения химического анализа 73
3.2. Ошибка в методе количественного химического анализа 80
3.3. Выводы 81
Глава 4. Ионно-модифицированные С+ слои SIOX, подвергнутые высокотемпературному отжигу 82
4.1. Параметры структур 82
4.2. Особенности формирования химического состава ионно модифицированных С+ слоёв SiOx, анализ полученных результатов 82
4.2.1. Элементный анализ слоёв 83
4.2.2. Анализ химических соединений
4.3. Оценка размеров нанокристаллов кремния 94
4.4. Фотолюминесценция плёнок 95
4.5. Выводы 98
Глава 5. Многослойные нанопериодические структуры SIOX/ZRO2, подвергнутые высокотемпературному отжигу 99
5.1. Параметры структур 99
5.2. Особенности формирования химического состава МНС SiOx/ZrO2 с нановключениями на основе Si, анализ полученных результатов 100
5.2.1. Элементный анализ слоёв 100
5.2.2. Анализ химических соединений 103
5.2.3. Обобщение результатов анализа данных РФЭС 1
5.3. Исследования ПЭМ 116
5.4. Выводы 122
Общие Выводы 124
Заключение 125
Благодарности 126
Список используемой литературы
