Автоматическая стабилизация параметров распределения мощности электронного пучка с целью обеспечения качества покрытий, наносимых методом электроннолучевого испарения
Швалев Николай Александрович. Автоматическая стабилизация параметров распределения мощности электронного пучка с целью обеспечения качества покрытий, наносимых методом электроннолучевого испарения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.06.- Рыбинск, 2005.- 167 с.: ил. РГБ ОД, 61 05-5/3027