Введение
ГЛАВА 1. Обзор и анализ методов контроля скорости осаждения покрытий, наносимых в вакууме. постановка задачи исседований 9
1.1 Классификация известных методов контроля скорости осаждения, наносимых в вакууме 9
1.2 Методы и устройства контроля параметров технологического процесса осаждения покрытий 11
1.2.1 Обзор дифференциальных методов контроля скорости осаждения покрытий 11
1.2.2 Обзор прямых методов контроля скорости нанесения покрытий 32
1.3 Сравнение косвенных и прямых методов контроля скорости осаждения материала 42
1.4 Формулировка задачи исследования 48
1.5 Выводы по первой главе и постановка задач исследований 49
ГЛАВА 2. Теоретический анализ метода электронно-эмиссионного спектроскопии, применяемого для контроля скорости осаждения и анализа состава покрытий. разработка конструкции электронно-эмиссионного датчика 50
2.1 Анализ процессов, происходящих при магнетронном распылении 50
2.1.1 Исследование основных особенностей работы магнетронной распылительной системы 50
2.1.2 Движение заряженных частиц в плазме 53
2.1.3 Зависимость скорости распыления материалов от основных параметров технологического процесса 56
2.1.4 Математическая модель магнетронной системы, характеризующая число возбуждений распыленных атомов 59
2.2 Электронно-эмиссионный датчик скорости распыления материала 66
2.2.1 Конструкция электронно-эмиссионного датчика скорости распыления материала 66
2.2.2 Математическая модель электронно-эмиссионного датчика 70
2.2.3 Статические и динамические параметры датчика 75
2.3 Выводы по второй главе 77
ГЛАВА 3. Разработка и исследование автоматизированной системы контроля скоростей распыления и осаждения материала 79
3.1 Разработка аппаратной части АСК ТП 79
3.1.1 Анализ распределенных систем ввода-вывода 81
3.1.2 Структура АСК ТП. 82
3.1.3 Измерение скоростей распыления и осаждения материала 84
3.1.4 Измерение сопротивления резистивного свидетеля 8 5
3.2 Разработка программного обеспечения АСК ТП 86
3.3 Выводы по третьей главе 88
ГЛАВА 4. Экспериментальное исследование электронно-эмиссионного датчика и автоматизированной системы контроля скоростей распыления и осаждения материала в вакууме 89
4.1 Конструкция электронно-эмиссионного датчика 89
4.2 Устройство сопряжения датчиков с ПЭВМ 91
4.3 Программное обеспечение АСК ТП 91
4.4 Результаты проведения испытаний АСК ТП на базе электронно-эмиссионного датчика 102
4.5 Выводы по четвертой главе 109
Заключение 111
Список использованных источников
