Автоматизация радиационно-лазерных процессов изготовления симметричных канальных элементов интегральной оптики
Кудаев, Сергей Валентинович. Автоматизация радиационно-лазерных процессов изготовления симметричных канальных элементов интегральной оптики : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.07.- Владимир, 2000.- 241 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/2148-0