Введение
I. БЛИЖНИЙ ПОРЯДОК И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ ЕГО ИССЛЕДОВАНИЯ
1.1. Общие представления о ближнем порядке и межатомном взаимодействии в твердом теле
1.2. Две тенденции в понятии структуры аморфных веществ
1.3. Электронографический метод исследования структуры аморфных пленок. Функция радиального распределения атомов и ее интерпретация
1.4. Метод обработки экспериментальных кривых интенсивности рассеяния электронов без предварительного учета фона
1.4.1. Определение интерференционной функции в относительных единицах
1.4.2. Методы нормирования интерференционной функции
1.4.3. Эффект обрыва, ложные максимумы, их влияние на кривые радиального распределения атомов и способы учета
1.4.4. Определение межатомных расстояний, координационных чисел, средних квадратичных смещений ато мов и характеристической температуры Дебая
2. ЭЛЕКТРОНОГРАФИЧЕСКПЕ ИССЛЕДОВАНИЕ БЛИЖНЕГО ПОРЯДКА В АМОРШЫХ ПЛЕНКАХ ОКИСЛОВ АЛКМШИЯ, ТАНТАЛА, НИОШЯ
2.1. Способы приготовления и область использования пленок. Общие сведе-ния о физико-химических свойствах
2.2. Кристаллические модификации АІ2О3, Та2о5 и нъ2о5
2.3. Общие замечания о структуре аморфных пленок
А1203, Та20с И Ш>205
2.4. Определение интерференционной функции по экспериментальным кривым рассеяния электронов
2.5. Расчеты кривых радиального распределения атомов, координационных чисел, средних квадратичных смещений атомов
2.6. Вычисление характеристической температуры Дебая, углов и энергий связей
2.7. Построение функции некогерентного фона
2.8. Исследования кинетики старения аморфных пленок
2.9. Выводы
3. ЭЛЕКТРОНОГРАФИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ АМОРФ
НЫХ ПЛЕНОК МОНОАРСЕНИДА И МОНОФОСЩДА КРЕМНИЯ
3.1. Общие сведения о физических свойствах. Способы изготовления и области использования
3.2. Кристаллические модификации пленок SiAg u-sip,
3.3. Изучение ближнего порядка в аморфных слоях siAs и s±P по электронографическим данным
3.3.1. Общий подход к исследованию структуры аморфных полупроводников
3.3.2. Определение интерференционной функции по экспериментальным кривым рассеяния электронов
3.3.3. Расчет параметров ближнего порядка и термодинамических характеристик .
3.4. Рентгеноэлектронные исследования структуры аморфных пленок SiAs и SiP
3.5. К классификации аморфных пленок соединений группы А^В^
3.6. Выводы
4. МОДЕЛИРОВАНИЕ СТРУКТУРЫ АМОРФНЫХ ПЛЕНОК
МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО
4.1. Общий подход к моделированию аморфных структур
4.2. Метод Монте-Карло и его применение к моделированию структуры аморфных веществ
4.3. Учет связей между атомами одного сорта
4.4. Выбор исходных данных
4.5. Введение полицентральной модели и коррекция краевого эффекта .
4.6. Статистика химических связей и критерий достоверности сконструированных моделей
4.7. Выводы
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ ЛИТЕРАТУРА
