Центры люминесценции, образующиеся в структурах Si-SiO2 в результате ионной имплантации и последующего отжига
Петров Юрий Владимирович. Центры люминесценции, образующиеся в структурах Si-SiO2 в результате ионной имплантации и последующего отжига : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Петров Юрий Владимирович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т].- Санкт-Петербург, 2008.- 165 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/320