Введение
ГЛАВА 1. Фурье-синтез трехмерной поверхности 12
1.1. Метод фурье-преобразования в профилометрии 12
1.1.1. Обзор существующих методов и алгоритмов фурье-
профилометрии 12
1.1.2. Комплексное представление интерференционного изображения 18
1.1.3. Прямое преобразование .Фурье 22
1.1.4. Выделение "плюс первого" порядка 26
1.1.5. Обратное преобразование Фурье 31
1Л .6. Перемножение комплексных изображений 31
1.1.7. Вычисление фазы 32
1.1.8. Недостатки метода фурье-преобразования 32
1.2. Метод фурье-синтеза профилограмм 35
1.3. Разворачивание фазы 43
1.4. Определение областей фазы, реконструированной с низкой точностью 50
1.5. Восстановление профиля поверхности 53
1.5.1. Преобразование фазы в высоту 53
1.5.2.Обратное преобразование деформированного объекта 55
1.6. Выводы к главе 1 58
ГЛАВА 2. Методы повышения качества реконструкции трехмерной поверхности . 59
2.1. Предобработка интерференционных изображений 59
2.1.1. Гомоморфная обработка 59
2.1.2. Добавление базовой плоскости 63
2.1.3. Уменьшение влияния постоянной составляющей фона 65
2.1.4. Низкочастотная фильтрация 65
2.2. Алгоритм Гершберга для комплексных изображений 66
2.2.1. Итерационный алгоритм Гершберга 66
2.2.2. Особенности применения алгоритма Гершберга для комплексных изображений 68
2.3. Выводы к главе 2 15
ГЛАВА 3. Исследование метрологических характеристик алгоритмов фурье-синтеза и Гершберга 16
3.1. Цифровая модель 16
3.2. Анализ точности восстановления поверхности объекта методом фурье-синтеза 19
3.3. Исследование метрологических характеристик метода Гершберга для интерферометрии 84
3.4.Определение точности измерения формы объекта 90
3.5. Выводы к главе 3 92
ГЛАВА 4. Программный комплекс восстановления поверхности трехмерных изображений 93
4.1. Описание программного комплекса 93
4.2. Конфигурирование программного комплекса 97
4.3. Блок захвата изображений 99
4.4. Блок выделения зоны интереса 102
4.5. Блок предобработки интерференционных изображений 104
4.6. Блок фурье-синтеза 104
4.7. Блок определения областей фазы, реконструированной с низкой точностью 104
4.8. Блок восстановления фазы в зоне интереса 106
4.9. Блок медианной фильтрации 106
4.10. Блок преобразования фазы в высоту 106
4.11. Блок трансформации получившихся координат в реальные 106
4.12. Блок трехмерной визуализации 106
4.13. Выводы кглаве4 109
Заключение
Список литературы
