Введение
1 Анализ способов коррекции погрешностей ёмкостных датчиков 12
1.1 Измерительные цепи ёмкостных датчиков 12
1.2 Систематизация способов коррекции погрешностей 19
1.3 Сравнительный анализ аналоговых и цифровых способов коррекции погрешностей датчиков
1.4 Основные результаты и выводы по главе 1 31
2 Анализ экспериментальных градуировочных характеристик емкостных датчиков давления
2.1 Анализ влияния нелинейности характеристики чувствительного элемента датчика на погрешность измерения давления.
2.2 Дополнительные аддитивная и мультипликативная погрешности измерения давления при изменении температуры окружающей среды .
2.3 Анализ влияния изменения температуры окружающей среды на линейность характеристики чувствительного элемента датчика.
2.4 Основные результаты и выводы по главе 2 - 56
3 Разработка способов цифровой коррекции погрешностей ёмкостных датчиков давления
3.1 Способ коррекции нелинейности функции преобразования датчика 57
3.2 Способ коррекции дополнительной температурной аддитивной и мультипликативной погрешностей датчика
3.3 Методика расчёта поправочных коэффициентов для цифровой коррекции погрешностей ёмкостного датчика
34 Основные результаты и выводы по главе 3 90
Практическая реализация и внедрение цифровых вторичных преобразователей для ёмкостных датчиков давления
4.1 Макетные образцы ёмкостного датчика давления 91
4.2 Опытные образцы ёмкостного датчика давления 95
4.3 Опытные образцы унифицированного модуля для преобразования 97 сигналов ёмкостных датчиков
4.4 Экспериментальные образцы высокотемпературного ёмкостного 99 датчика давления
4.5 Основные результаты и выводы по главе 4 105 Основные результаты и выводы по работе 106
Заключение 108
Перечень принятых сокращений 109
Список литературы
