Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы 11
1.1 Материалы для формирования прозрачных проводящих слоев .11
1.2 Методы синтеза слоев ТСО 15
1.3 Структура и характеристики прозрачных проводящих слоев на основе ZnO 18
1.4 Прозрачные электроды на основе многослойных структур .30
1.5 Синтез керамических мишеней на основе оксида цинка 32
1.6 Выводы по главе 1. 39
ГЛАВА 2. Исследование процессов синтеза керамических мишеней на основе оксида цинка .42
2.1 Описание экспериментального оборудования и методик 42
2.2 Спекание компактированных порошков нелегированного ZnO 44
2.3 Исследование процессов спекания керамики AZO .50
2.4 Исследование процессов спекания керамики GZO 53
2.5 Выводы по главе 2 62
ГЛАВА 3. Исследование процессов магнетронного синтеза прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка . 64
3.1 Техника эксперимента 64
3.2 Исследование процессов формирования, структуры, электрических и оптических характеристик слоев AZO 67
3.3 Исследование процессов формирования, структуры, электрических и оптических характеристик слоев GZO. 77
3.4 Двухслойные тонкопленочные структуры GZO / ITO 86
3.5 Тестирование слоев AZO и GZO. 88
3.6 Выводы по главе 3 90
ГЛАВА 4. Исследование влияния соотношения zn/o2 в составе потока реагентов на структуру и свойства слоев на основе оксида цинка .91
4.1 Синтез слоев путем сораспыления мишеней GZO и Zn 92
4.2 Динамика диспергирования и трансформации структуры при механохимической активации порошковых систем ZnO – Zn . 96
4.3 Синтез металлокерамических мишеней GZO – Zn 103
4.4 Синтез слоев GZO методом dc магнетронного распыления металлокерамических мишеней GZO – Zn .111
4.5 Синтез слоев GZO методом dc магнетронного распыления композитных мишеней GZO – С 123
4.6 Модель роста слоев в условиях избыточного содержания цинка в составе потока реагентов 130
4.7 Выводы по главе 4 .136
Заключение 138
Список литературы
