Процессы формирования пьезокерамических микроструктур на поверхности монокристаллического кремния
Дайнеко, Андрей Владимирович. Процессы формирования пьезокерамических микроструктур на поверхности монокристаллического кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Дайнеко Андрей Владимирович; [Место защиты: Твер. гос. ун-т].- Тверь, 2011.- 142 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/128
