Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучении
Шемухин, Андрей Александрович. Дефектообразование и рекристаллизация в пленках кремния на сапфире при ионном облучении : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.20 / Шемухин Андрей Александрович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова].- Москва, 2013.- 111 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/890
