Введение
1. Литературный обзор 9
1.1 Термодинамика бинарных систем 9
1.2 Спинодальный распад в твердых растворах 11
1.3 Слоистые структуры в массивных сплавах 14
1.4 Модулированные структуры в полупроводниковых системах 18
1.5 О диффузии в двухкомпонентных тонкопленочных системах 25
1.5.1 Влияние растворимости компонента на диффузию 26
1.5.2 Поверхностная диффузия 28
1.6 Кинетика формирования структуры двухкомпонентных пленок на начальной стадии роста 30
1.7 Заключение. Постановка задачи исследования 36
2. Механизм формирования нанокристаллическои структуры при конденсации двухкомпонентных металлических систем с ограниченной взаимной растворимостью 38
2.1 Экспериментальные результаты 38
2.2 Модель диффузионного расслоения двухкомпонентной пленки 43
2.3 Результаты расчетов и их обсуждение 47
2.4 Выводы к Главе 2 52
3. Исследование природы слоистой субструктуры зерен сильнолегированных поликристаллических пленок кремния 54
3.1 Экспериментальные данные 54
3.1.1 Условия и режимы получения пленок 54
3.1.2 Ориентация, морфология поверхности и субструктура зерен 55
3.1.3 Зависимость ширины слоев от температуры 56
3.2 Механизм формирования слоистой субструктуры 58
3.3 Математическое описание модели 60
3.4 Результаты расчетов 61
3.5 Выводы к Главе 3 64
4. Особенности формирования структуры с высокой открытой пористостью в пленках AL-AL203 66
4.1 Методика и результаты эксперимента 66
4.2 Кинетика роста нитевидных микрокристаллов 71
4.2.1 Математическое описание модели 75
4.2.2 Результаты расчетов 82
4.3 Выводы к главе 4 87
Основные результаты и выводы 88
Литература 89
