Введение
Глава 1. Анализ факторов влияющих на шероховатость оптической поверхности 9
1.1. Статистические характеристики шероховатости поверхности 9
1.1.1. Среднеквадратическая и среднеарифметическая величина неровностей поверхности 10
1.1.2. Среднеквадратический наклон неровностей 12
1.1.3. Функция распределения микронеровностей по высотам и по углу наклона 14
1.1.4. Среднекубическое распределение или асимметрия микронеровностей 17
1.1.5. Анализ влияния экстремальных дефектов поверхности на оценку шероховатости 19
1.1.6. Автоковариационная функция длина корреляциопростран-ственной длине волны поверхности 19
1.1.7. Функция спектральной плотности мощности 22
1.2. Статистические характеристики некоторых изображений поверхности 26
1.3. Механизм образования микронеровностей 35
1.3.1. Микроскопический излом 35
1.3.2. Оплавление поверхности стекла в процессе обработки (термопластический механизм) 36
1.3.3. Химические реакции в поверхностном слое 37
1.4. Механизм шлифования 38
1.4.1 Обрабатывающие материалы 42
1.5. Методы наблюдения и аттестации шероховатости 43
1.5.1. Наблюдение рассеянного поверхностью света 43
1.5.2. Применение интерференционного дифференциально-контрастного микроскопа (микроскоп Номарского) 44
1.5.3. Применение электронных микроскопов 46
1.5.4. Механические методы измерения шероховатости 46
1.5.5. Оптические методы контроля шероховатости 48
1.6. Лучевая прочность шероховатых поверхностей 50
1.7. Методы определения лучевой прочности 54
1.8. Выводы 56
Глава 2. Исследование влияния технологических факторов на параметры шероховатости оптической поверхности в процессе шлифования 7
2.1. Влияние размера абразива на параметры шероховатости разных марок оптических материалов 60
2.2. Влияние давления и скорости вращения инструмента на параметры шероховатости разных марок оптических материалов 69
2.3 Исследование распределения шероховатости по поверхности оптической детали 81
2.4. Выводы 87
Глава 3. Исследование влияния технологических факторов на параметры шероховатости оптической поверхности в процессе полирования 88
3.1. Уменьшение микронеровностей механическим методом на стадии полирования 94
3.2. Физико-химическая стадия обработки оптической поверхности 98
3.3.Термодинамическая обработка (размягчение, увеличение вязкостиповерхности поверхностного слоя) для корректировки поверхности 104
3.4. Выводы 111
Глава 4. Исследование лучевой стойкости оптической поверхности 112
4.1. Влияние параметров шероховатости на лучевую стойкость оптической поверхности 113
4.2. Исследования влияния условий обработки оптической поверхности на лучевую стойкость оптической поверхности
4.3. Корреляционные связи между величиной лучевой прочности и шероховатостью поверхности оптических материалов
4.4. Выводы 125
Заключение 126
Список литературы 128
