Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия
Дунаев, Александр Валерьевич. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Дунаев Александр Валерьевич; [Место защиты: Иван. гос. хим.-технол. ун-т].- Иваново, 2011.- 134 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-2/442
