Введение
Глава 1. Формирование волнового фронта 10
1.1 Формирование отраженного волнового фронта градиентными диэлектрическими зеркалами
1.2 Мягкие диафрагмы 1 6
1.3 Киноформные элементы 21
1.4 Выводы по Главе 1
Глава 2. Фазо-компенсирующие многослойные диэлектрические системы
2.1 Двухслойные диэлектрические системы, формирующие фазо-компенсирующее покрытие 2.2 Трехслойные диэлектрические системы, формирующие фазо-компенсирующее покрытие 37
2.3 Многослойные фазо-компенсирующие системы 45
2.3.1 Многослойные четвертьволновые фазо-компенсирующие покрытия с градиентным верхним слоем 45
2.3.2 Многослойные четвертьволновые фазо-компенсирующие покрытия с чередующимися градиентными слоями 48
2.4 Выводы по Главе 2 53
Глава 3. Формирование слоев переменной толщины по поверхности оптического элемента для фазо-компенсирующих систем 54
3.1 Расчет относительного расположения элементов для получения заданного распределения толщины слоев 55
3.2 Расположение оптических элементов в вакуумной испарительной установке 58
3.3 Экспериментальное исследование градиентных покрытий
3.3.1 Анализ параметров изготовленных градиентных покрытий 65 68
3.4 Экспериментальное исследование свойств фазо-компенсирующих покрытий для лазерной системы
3.4.1 Расчет параметров технологической оснастки
3.4.2 Расчет параметров двухслойного фазо-компенсирующего покрытия 72
3.4.3 Анализ параметров изготовленных фазо-компенсирующих покрытий
3.5 Экспериментальное исследование свойств фазо-компенсирующих зеркальных покрытий
3.5.1 Расчет параметров технологической оснастки для изготовления зеркального фазо-компенсирующего покрытия 82
3.5.2 Расчет параметров зеркального фазо-компенсирующего покрытия 85
3.5.3 Анализ параметров зеркального фазо-компенсирующего покрытия 93
3.6 Выводы по Главе 3
Выводы по работе
Список литературы
