Введение
1 Обзор литературы 10
1.1 Теоретические модели расчета фазовой последовательности при твердофазной реакции 11
1.1.1 Модель Walser-Bene 12
1.1.2 Модель EHF 13
1.1.3 Сравнение моделей Walser-Bene и EHF 14
1.2 Фазообразование при твердофазной реакции в системе Al/Au 15
1.2.1 Экспериментальные исследования фазообразования при твердофазной реакции в системе Al/Au 18
1.2.2 Теоретические расчеты фазовой последовательности при твердофазной реакции в системе Al/Au 23
1.2.3 Сравнение экспериментальных и теоретических результатов 25
1.3 Фазообразование при твердофазной реакции в системе Fe/Si 27
1.3.1 Экспериментальные исследования фазообразования в системе Fe/Si... 28
1.3.1.1 Сверхтонкие пленки Fe на подложке монокристаллического Si(100) 29
1.3.1.2 Сверхтонкие пленки Fe на подложке монокристаллического Si(l 11) 31
1.3.1.3 Тонкие пленки Fe на подложке монокристаллического Si 34
1.3.1.4 Мультислойные тонкие пленки (Fe/Si)n
1.3.2 Теоретические расчеты фазовой последовательности при твердофазной реакции в системе Fe/Si 42
1.3.3 Сравнение экспериментальных и теоретических и результатов 44
1.4 Постановка задачи исследования з
2. Условия получения образцов и методы их исследования.. 47
2.1 Условия получения тонких пленок Al/Au 47
2.2 Условия получения пленок на основе Fe/Si 48
2.3 Просвечивающая электронная микроскопия, дифракция электронов, энергодисперсионный анализ 50
2.4 Анализ картин дифракции электронов 53
2.5 Подготовка поперечного среза образцов 53
3. Исследования фазообразования при твердофазной реакции в пленках Al/Au 55
3.1 Исходное состояние пленок Al/Au 55
3.2 In situ исследования фазообразования при твердофазной реакции в тонких пленках Al/Au (скорость нагрева до 120С/мин) 59
3.3 In situ исследования фазообразования при твердофазной реакции в тонких пленках Al/Au (скорость нагрева 20-24С/мин) 63
3.4 Обсуждение полученных результатов 75
3.4.1 Исходное состояние тонких пленок Al/Au 75
3.4.2 Фазовая последовательность при твердофазной реакции в тонких пленках Al/Au 76
3.5 Выводы 81
4. Фазообразование при твердофазной реакции в пленках на основе Fe/Si 83
4.1 Исследования фазообразования при твердофазной реакции в пленках Si/Fe/Si 83
4.1.1 Исходное состояние пленок Si/Fe/Si 83
4.1.2 In situ исследования фазообразования при твердофазной реакции в пленках Si/Fe/Si 87 92
4.3 Обсуждение полученных результатов 94
4.4 Выводы 98
5. Фазообразование при твердофазной реакции в эпит аксиальной системе Fe3Si(lll)/Si(l 11) 100
5.1 Исходное состояние системы Fe3Si(lll)/Si(lll) 100
5.2. Исследования термической стабильности и фазообразования при твердофазной реакции в системе Fe3Si(lll)/Si(lll) 103
5.3 Выводы 106
Заключение 108
Список литературы
