Введение
1. Литературный обзор 8
1.1. Введение 8
1.2. Методы исследования структуры тонких пленок 9
1.3. Тонкие пленки сульфида кадмия 24
1.4. Тонкие пленки смешанного сульфида кадмия и цинка 32
1.5. Тонкие пленки сульфида свинца 34
1.6. Тонкие пленки карбонитрида кремния 40
1.7. Колончатая структура тонких пленок 49
1.8. Заключение 58
2. Методы исследования структуры и фазового состава 60
3. Исследование фазового состава и структуры пленок CdS, CdxZni.xS И PbS 67
3.1. Тонкие пленки CdS и CdxZni.xS 67
3.1.1. Приготовление образцов CdS, CdxZni xS 67
3.1.2. Рентгенографические исследования пленок CdS, CdxZni.xS 68
3.1.3. Методы электронной микроскопии и электронной дифракции (SEM, HRTEM, SAED) 74
3.1.4. Химический состав пленок Cd^n^S 76
3.1.5. Эллипсометрические исследования 76
3.1.6. ИК - спектроскопия 77
3.1.7. КР - спектроскопия 77
3.2. Исследование структуры и фазового состава пленок PbS 79
3.2.1. Приготовление образцов 79
3.2.2. Рентгенографические исследования 79
3.2.3. Методы электронной микроскопии (SEM) и элементного анализа (EDS) 82
3.3. Обсуждение результатов 85
4. Исследование фазового состава и структуры пленок карбонитрида кремния SiQNy 88
4.1. Приготовление образцов 88
4.2. Методы исследования 88
4.3. Рентгенографические исследования 89
4.4. Исследования атомной структуры и морфологии поверхности пленок SiCxNy методами электронной микроскопии 92
4.5. ИК-спектроскопия 94
4.6. Химический состав пленок 95
4.7. Анализ химических связей методом РФЭС 96
4.8. Исследование высокотемпературного отжига пленок SiCxNy 99
4.8.1. Приготовление образцов 99
4.8.2. Методы исследования 99
4.8.3. Рентгегюструктурные исследования 99
4.8.4. ИК- спектроскопические исследования 103
4.8.5. РФЭС исследования 104
4.9. Обсуждение результатов 105
Выводы 109
Список литературы 111
