Введение
Глава 1. Обзор литературы 24
Глава 2. Описание экспериментальной установки и методов исследований 48
2.1. Описание экспериментальной установки 48
2.2. Методика определения доли ВЧ мощности, поглощенной плазмой
2.2.1. Эквивалентная электрическая схема 51
2.2.2. Понятие эквивалентного сопротивления 53
2.2.3. Методика измерение мощности, вложенной в плазму 54
2.2.4. Методика измерения ВЧ тока 56
2.3. Методика зондовой диагностики 57
2.2. Методика измерения ВЧ токов и магнитных полей 59
2.5. Выбор условий эксперимента 62
Глава 3. Экспериментальные исследования параметров плазмы 79
3.1. Особенности индуктивного ВЧ разряда, наблюдаемые при изменении индукции магнитного поля и давления газа 79
3.2. Аксиальное распределение зондового тока насыщения 82
3.3. Аксиальное распределение концентрации и эффективной температуры электронов, потенциала пространства 90
3.4. Влияние емкостной составляющей на параметры разряда 94
3.5. Выводы 98
Глава 4. Экспериментальные исследования пространственного распределения ВЧ полей и токов, закономерностей энерговклада 100
4.1. Аксиальное распределение продольных компонент ВЧ полей и токов 101
4.2. Анализ результатов измерения продольных компонент ВЧ полей и токов 105
4.3. Влияние емкостной составляющей на аксиальное распределение ВЧ полей и токов 114
4.4. Радиальные распределения продольных компонент ВЧ полей и токов 117
4.5. Связь пространственного распределения полей и концентрации электронов 118
4.6. Эффективность вложения ВЧ мощности 119
Глава 5. Моделирование в программе «КАРАТ» 124
5.1. Моделирование плазмы методом крупных частиц 124
5.2. Моделирование однокамерного источника
5.2.1. Зависимость параметров плазмы от величины внешнего магнитного поля 129
5.2.2. Зависимость параметров плазмы от положения антенны в случае однородного внешнего магнитного поля 132
5.2.3. Зависимость параметров плазмы от конфигурации внешнего магнитного поля 134
5.2.4. Распространение волн в однокамерном источнике плазмы 135
5.3. Моделирование двухкамерного источника 136
5.3.1. Формирование плазменного столба 138
5.3.2. Перераспределение плотности плазмы – эффект «перекачки» 139
5.3.3. Влияние емкостной составляющей на перераспределение концентрации электронов 140
5.3.4. Влияние тока антенны на перераспределение концентрации электронов 143
5.3.5. Влияние плотности намотки витков индуктора на распределение плотности плазмы 144
5.4. Выводы 146
Основные результаты и выводы 147
Благодарности 150
Список цитированной литературы 151
Список публикаций по теме диссертации
