Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики
Жуков Андрей Александрович. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01, 05.27.06 : Москва, 2003 315 c. РГБ ОД, 71:04-5/71-8