Введение
2. Литературный обзор 10
2.1. Методы синтеза пленок карбонитрида кремния 10
2.1.1. Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния 10
2.1.2. Основные типы установок плазмохимического синтеза 13
2.1.3. Характеристика плазмохимических процессов 15
2.2. Химический состав пленок 23
2.2.1. ИК-и КР-спектроскопия 23
2.2.2. Рентгенофотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) 25
2.2.3. Структура пленок 27
2.2.4. Свойства пленок карбонитрида кремния 31
2.3. Заключение 36
3. Описание экспериментальной системы и методики эксперимента 39
3.1. Объекты исследования 39
3.2. Методы исследования 39
3.2.1. ИК-спектроскопия 41
3.2.2. Рентгенофотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) 42
3.2.3. Спектроскопия рентгеновская поглощения (XANES) 43
3.2.4. Спектроскопия комбинационного рассеяния (СКР) 43
3.2.5. Спектроскопия УФ-, видимой области 44
3.2.6. Дифракция синхротронного излучения 44
3.2.7. Эллипсометрия 45
3.2.8. Атомно-силовая микроскопия (АСМ) 46
3.2.9. Сканирующая электронная микроскопия 47
3.2.10. Наноиндентирование 47
3.2.11. Электрофизические характеристики 47
4. Результаты экспериментов и их обсуждение 48
4.1. Исходные вещества (прекурсоры) 48
4.2. Схема процесса 51
4.3. Проведение эксперимента 55
4.4. Кинетические зависимости 57
4.5. Химическое строение пленок 61
4.5.1. ИК-спектроскопия 61
4.5.2. РФЭ спектроскопия 69
4.5.3. Спектроскопия комбинационного рассеяния (СКР) 74
4.5.4. Рентгеновская спектроскопия поглощения (XANES) 75
4.6. Морфология и структура 78
4.6.1. Морфология пленок поданным РЭМ и АСМ 78
4.6.2. Структура пленок 81
4.7. Свойства пленок и структур 87
4.7.1. Оптическая ширина запрещенной зоны 87
4.7.2. Показатель преломления пленок 89
4.7.3. Механические свойства 91
4.7.4.Электрофизические характеристики МДП структур 92
5. Выводы 95
6. Список литературы 96
7. Приложения 108
