Введение
Глава 1. Литературный обзор 12
1.1. Структура и свойства оксида и гидроксида цинка 12
1.2. Методы получения тонких пленок оксида цинка 15
1.3. Метод химического осаждения из растворов 19
1.4. Механизм зарождения и роста пленок гидроксидов металлов при химическом осаждении из водных растворов 22
1.5. Осадители, применяемые в химическом осаждении 24
1.5.1. Общая характеристика используемых в работе органических осадителей 26
1.5.2. Реакции веществ - осадителей в водных растворах 28
1.6. Получение пленок оксида цинка и сложных композиций на его основе из водных растворов 32
1.6.1. Химическое осаждение пленок индивидуального и легированного алюминием оксида цинка из растворов 33
1.6.2. Взаимодействие цинка и алюминия в системе ZnO-Al2O3 36
1.6.3. Гидролиз солей цинка и алюминия в щелочных растворах 37
1.7. Применение пленок оксида цинка 40
Выводы 43
Глава 2. Исходные материалы и методы исследования 45
2.1 Используемые реактивы и материалы 45
2.2 Методика получения осадков из водных растворов
2.3. Методика химического осаждения пленок из водных растворов 46
2.4. Методика термического отжига пленок
2.5. Методика кинетических исследований осаждения гидроксидов цинка и алюминия 49
2.6. Исследование структуры, фазового, элементного состава и морфологии пленок 49
2.7. Исследование электропроводности и оптических свойств пленок оксида цинка 50
Глава 3. Исследование процесса химического осаждения гидроксидов цинка и алюминия 52
3.1. Расчет условий осаждения гидроксидов цинка и алюминия в водных растворах 52
3.1.1. Расчет ионных равновесий в системе катион цинка - гидроксид цинка 53
3.1.2. Расчет ионных равновесий в системе катион алюминия - гидроксид алюминия 63
3.2. Расчет ионных равновесий в системе Zn(Al)n+ - H2O - осадитель 65
Выводы 72
Глава 4. Исследование кинетических характеристик осаждения гидроксидов цинка и алюминия с использованием органических осадителей 73
4.1. Изучение кинетических характеристик процесса осаждения гидроксида цинка с использованием диметилформамида 73
4.2. Изучение кинетических характеристик процесса осаждения гидроксида алюминия с использованием этилацетата 89
4.3. Некоторые кинетические закономерности роста пленок гидроксида цинка 97
Выводы 99
Глава 5. Исследование состава, структуры и свойств полученых образцов пленок и осадков на основе оксида цинка 100
5.1. Исследование образцов осадков на основе оксида цинка, осажденных с использованием различных осадителей 100
5.1.1. Структура и состав осадков, полученных в системе Zn2+-OH--H2O 101
5.1.2. Структура и состав осадков, полученных в системе Zn2+-OH--ДМФА-H2O 103
5.1.3. Структура и состав осадков, полученных в системе Zn2+-NH3-ТМ-H2O 105
5.1.4. Структура и состав осадков, полученных в системе Zn2+-Al3+-NH3-ТМ-H2O 108
5.1.5. ИК - спектроскопия осадков гидроксидов цинка и алюминия 110
5.2. Исследование морфологии и структуры пленок гидроксида цинка 113
5.2.1. Влияние осадителя на морфологию пленок гидроксида цинка 114
5.2.2. Влияние количества слоев на толщину и микроструктуру пленок гидроксида цинка 118
5.2.3. Влияние температуры и режима термообработки на структуру пленок оксида цинка 122
5.3. Исследование оптических свойств и электропроводности пленок ZnO 126
5.3.1. Оптические свойства пленок оксида цинка 126
5.3.2. Электропроводность пленок оксида цинка 128
5.3.3. Газовая чувствительность пленок оксида цинка 133
5.4. Исследование структуры и свойств пленок совместно осажденного с алюминием оксида цинка 136
Выводы 143
Заключение 145
Список сокращений и условных обозначений 147
Библиографический список .
