Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники
Залкинд Яков Григорьевич. Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2006.- 131 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/2109