Введение
ГЛАВА 1 Современные типы детекторов света малой интенсивности излучения, их конс тр укт ив но -технологические особенности и области пр именения 17
1.1. Электровакуумные приборы 17
1.2. Детекторы на основе полупроводников 21
1.2.1. Диоды на основе полупроводников с областью собственной проводимости 21
1.2.2. Диоды, обеспечивающие внутреннее усиление посредством эффекта лавинного умножения 24
1.2.3. Фотод иоды с использованием реж има Гейгера 26
1.2.4. Кремниевые фотоэлектронные умножители 27
1.2.5. Сравнение SiФЭУ с другими типами детекторов 32
Выводы к главе 1 34
ГЛАВА 2 Разработка технологических методов оптической связи 36
2.1. Сравнительное исследование и методы подавления взаимного влияния ячеек SiФЭУ друг на друга с целью оптимизации параметров прибора 36
2.2. Анализ взаимного влияния ячеек и выбор конструктивных и технологических методов подавления взаимной связи ячеек 38
Выводы к главе 2 47
ГЛАВА 3 Технологический базис для изготовления SiФЭУ 48
3.1 Техпроцесс формирования глубокозалегающего дополнительного p-n-перехода 49
3.2 Техпроцесс создания поглощающего слоя на обратной стороне 50
3.3 Техпроцесс разделения ячеек между собой V-образными канавками, получаемыми на финишных этапах технологического маршрута при помощи высокоселе кти вного травления в ЭД П 60
3.4 Способ создания высокоомного поликремниевого резистора с подгонкой проводимости ИИ B+ 66
3.5 Техпроцесс формирования металлической разводки при помощи проекционной фотолитографии на пластинах с рельефом до 5 мкм 69
3.6 Техпроцесс формирования просветляющего двуслойного покрытия для формирования максимальной чувствительности детектора на длине волны 420 нм 75
3.7 Технология формирования кремниевых фотоэлектронных умножителей на базе оборудования и процессов, используемых в цикле для изготовления КМОП изделий с проектными нормами 1.6 мкм 85
Выводы к главе 3 90
ГЛАВА 4 Анализ параметров изготовленных SiФЭУ с учетом проявления методов
4.1 Описание и технические характеристики изготовленных SiФЭУ 92
4.1.1. Эффективность регистрации света в режиме счета 94
4.1.2. Шум-фактор (ENF) 98
4. 1.3. Коэффициент усиления 99
4.1.4. Оптическая связь 102
4.2. Исследования SiФЭУ в мировых физических экспериментах 103
4.2.1. Использование SiФЭУ в тайловом адронном калориметре в международ ном лине йном коллайдере 103
4.3.1. Использование SiФЭУ в эксперименте MAGIC (Major Atmospheric Gamma Imaging Cerenkov Telescope) 110
4.3. Анализ результатов 118
Выводы к главе 4 119
Заключение 120
Литература
