Введение
ГЛАВА 1. Проблемы формирования состава и структуры поверхности металлов и сплавов при электрических разрядах (литературный обзор) 13
1.1. Электроискровое легирование как метод получения неравновесных конденсированных систем на поверхности материала 13
1.2. Механизм электроискровой эрозии 16
1.3. Представления о формировании электроискровых покрытий . 21
1.4. Постановка задачи 29
ГЛАВА 2. Методы исследования элементного, фазового составов и рельефа поверхности электроискровых покрытий 31
2.1. Энергомасс-анализ 37
2.2. Рентгенофазовый анализ поверхности покрытий 41
2.3. Электронно-зондовый микроанализ 42
2.4. Растровая электронная микроскопия 45
2.5. Сканирующая туннельная микроскопия 48
2.6. Методика приготовления образцов 56
Экспериментальная часть
Глава 3. Формирование фаз при получении покрытий из металлов ivb - vie групп на тантале и стали 45
Низковольтными электрическими разрядами 58
3.1. Элементный состав покрытий 58
3.1.1. Данные энергомасс-анализа 58
3.1.2. Данные микрозондового анализа 60
3.2. Общая характеристика фазового состава покрытий 70
3.3. Образование нитридов и оксидов металлов ГУБ - VIE групп при воздействии низковольтных электрических разрядов 78
ГЛАВА 4. Исследование микрорельефа поверхности покрытий методом сканирующей туннельной микроскопии 86
4.1. Поверхность закаленной стали 45 87
4.2. Поверхность медного покрытия 87
4.3. Поверхность покрытий из ниобия и тантала 90
4.4. Поверхность вольфрамовых покрытий 90
ГЛАВА 5. Расчеты фаз, образующихся в процессе получения покрытий при низковольтных электрических разрядах 100
Основные выводы 109
Литература
