Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения
Гренадёров Александр Сергеевич. Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: диссертация ... кандидата Технических наук: 01.04.04 / Гренадёров Александр Сергеевич;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»], 2018.- 142 с.