Введение
Глава 1. Исследование кинетики зарождения и роста островковых пленок на начальной стадии конденсации 14
Глава 2. Образование и рост кластеров металлов при вакуумной конденсации на поверхность с активными центрами зарождения 64
Глава 3. Моделирование формы роста и ориентации металлических кластеров на поверхности кристалла 91
Глава 4. Исследование процесса кластерообразования из двухкомпонентного пара 114
Глава 5. Механизм формирования компактной нанокри-сталлической структуры при конденсации двухкомпонентных металлических систем с ограниченной взаимной растворимостью 131
Глава 6. Исследование природы слоистой субструктуры зерен сильнолегированных поликристаллических пленок кремния 159
Глава 7. Роль поверхностной диффузии в процессе формирования структуры с высокой открытой пористостью в пленках а1-а1203 180
Основные результаты и выводы 202
Литература 205
Приложение
