Введение
Глава 1. Теоретические и технологические предпосылки создания пленочных, гранулированных и нанокомпозитных структур с высокочастотными свойствами 8
1.1. Основы теории магнитоимпеданса тонкопленочных структур 8
1.2. Факторы, определяющие специфику получения и применения тонких магнитных пленок 16
1.3. Проблемы технологии тонкопленочных магнитных материалов 19
1.4. Функциональные высокочастотные наноструктурированные магнитные материалы , 26
Глава 2. Выбор основных материалов и легирующих добавок 33
2.1. Основные критерии выбора материалов для магнитоимпедансных устройств 33
2.2. Кристаллические сплавы 35
2.3. Аморфные сплавы 36
2.4. Нанокристаллические материалы 37
2.5. Нанокомпозиты ...38
2.6. Выводы , 38
Глава 3. Технологическая база получения магнитных тонкопленочных и композитных структур 40
3.1. Используемое технологическое оборудование 40
3.2. Отработка технологических режимов и изготовление образцов для исследований 48
Глава 4. Исследование свойств тонкопленочных элементов: методика эксперимента и аппаратура 51
4.1. Магнитостатика.. 51
4.2. Магнитооптика 56
4.3. Магнитоимпеданс . 58
4.4. Электронная микроскопия и микрорентгеновский анализ 60
4.5. Рентгеноструктурный анализ 64
4.6. Сканирующая зондовая микроскопия... 67
Глава 5. Основные результаты 78
5.1. Магнитостатические свойства ,78
5.2. Магнитооптические исследования образцов 92
5.3. Результаты электронно-микроскопических измерений и рентгеноструктурного анализа 97
5.4. Магнитоимпедансные исследования 102
5.5. Использование сканирующей зондовой микроскопии в технологии функциональных материалов 108
5.6. Выводы 117
Глава 6. Создание пленочных структур с использованием технологий микроэлектроники 119
6.1. Технологический маршрут создания тонкопленочных структур 119
6.2. Оптимизация магнитостатических характеристик пленок пермаллоя ..121
6.3. Магнитоимпедансные характеристики 122
6.4. Выводы 130
Заключение ..132
Приложение 1 135
Принятые обозначения , 146
Литература 147
