Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов
Ерофеев, Евгений Викторович. Формирование контактов металл-полупроводник с металлизацией на основе Al и Cu для GaAs СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.04 / Ерофеев Евгений Викторович; [Место защиты: Том. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники (ТУСУР) РАН].- Томск, 2012.- 138 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/3502
