Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях
Корчагина, Таисия Тарасовна. Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Корчагина Таисия Тарасовна; [Место защиты: Ин-т физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН].- Новосибирск, 2012.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/909
