Введение
ГЛАВА 1. Анализ моделей роста и механизмов формообразования кристаллов кремния, полученных методом БЗП 11
1.1. Метод бестигельной зонной плавки 13
1.2. Морфология монокристаллов кремния, полученных методом бестигельной зонной плавки 27
1.3. Обзор некоторых теорий роста кристаллов 38
1.4. Кристаллохимическая модель роста кристаллов С.А Строителева Формулировка задач диссертации 57
ГЛАВА 2. Морфологические признаки форм роста 58
2.1 Реберные выступы октаэдра, ромбического додекаэдра и тетрагонтриоктаэдра 59
2.2 Раздвоение и криволинейная форма реберных выступов 69
2.3 Взаимодействие основных морфологических элементов, одновременная реализация различных гранных форм 77
2.4 Воздействие вибрации на форму реберных выступов 86
Выводы по главе 2 89
ГЛАВА 3. Взаимосвязь между формами роста и структурным состоянием монокристаллов 93
3.1. Переогранка в процессе роста на конической части монокристалла 93
3.2. Факторы, способствующие введению дислокаций 99
3.3. Двойникование кристаллов БЗП кремния 102
3.4. Генерация дислокаций по механизмам скольжения и переползания. Влияние дислокаций на форму реберных выступов 107
Выводы по главе 3 114
ГЛАВА 4. Влияние условий роста на морфологию поверхности и электрофизические параметры монокристаллов БЗП кремния 116
4.1. Образование наростов на поверхности монокристаллов 117
4.2. Методика исследования распределения времени жизни неравновесных носителей заряда 121
4.3. Измерение времени жизни неравновесных носителей заряда т на кристаллах с наростами 123
4.4. Модель возникновения осцилляции времени жизни неравновесных носителей заряда 132
Выводы по главе 4 135
Основные результаты и выводы по диссертации 136
Список литературы
