Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы
Демин, Максим Викторович. Формирование тонкопленочных и ионно-имплантированных газосенсорных структур на кристалле n-6H-SiC с применением импульсной лазерной плазмы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Демин Максим Викторович; [Место защиты: Нац. исслед. ядерный ун-т].- Москва, 2013.- 161 с.: ил. РГБ ОД, 61 14-1/376
