Введение
Глава 1. Получение и исследование углеродных пленок (литературный обзор)
1. Аллотропные формы углеродных материалов 12
2.Осаждение углеродных материалов из газовой фазы 21
2.1. Общие сведения о методах осаждения пленочных углеродных материалов из газовой фазы 21
2.2. Физико-химические механизмы газофазного осаждения углеродных пленок 25
2.3. Основные понятия физики тлеющего разряда 29
3. Оптическая эмиссионная спектроскопия (ОЭС) газовой фазы в плазмохимических процессах 32
3.1. Принципы и особенности метода ОЭС плазмы 32
3.2. ОЭС для различных модификаций плазмохимического осаждения углерода 34
4. Комбинационное рассеяние света (КРС) в углеродных материалах 43
4.1. Элементы теории КРС в кристаллах 43
4.2. Особенности КРС в углеродных материалах 46
4.2.1. КРС в алмазоподобных материалах 46
4.2.2. КРС в графитоподобных материалах 50
Глава 2. Методика эксперимента
1. Экспериментальные методики для осаждения углеродных пленок и оптической диагностики процесса осаждения 54
1.1. Плазмохимическое осаждение углеродных пленок 54
1.2. Оптическая эмиссионная спектроскопия газоразрядной плазмы 56
2. Методы диагностики фазового состава и морфологических особенностей углеродных пленок 60
2.1. Комбинационное рассеяние света 60
2.2. Структурно-морфологические исследования поверхности 62
2.3. Автоэлектронная микроскопия 63
Глава 3. Изучение процессов формирования углеродных материалов из газовой фазы
1. Влияние электрических параметров разряда на формирование углеродных пленок :65
2. Влияние материала подложек и их предварительной обработки на процесс формирования углеродных пленок 72
3. Изучение оптических эмиссионных спектров газоразрядной плазмы 79
3.1. Описание эмиссионных спектров и пространственное распределение углеродсодержащих компонентов в плазме разряда.. 79
3.2. Влияние примеси азота на морфологию и структурные характеристики углеродных пленок 87
4. Влияние электрических поля на формирование углеродных пленок 97
4.1. Экспериментальное наблюдение влияния электрического поля на рост углеродных пленок 97
4.2. Гидродинамическая модель плазмы и оценка величины электрического поля у поверхности подложки 100
5. Механизм формирования наноуглеродных материалов из газовой фазы 108
5.1. Структурно-морфологические особенности и фазовый состав наноуглеродных пленок 108
5.2. Механизм формирования наноуглеродных пленок 116
6. Механизм формирования высокоупорядоченных графитных пленок 123
6.1. Получение и структурно-морфологические особенности высокоупорядоченных графитных пленок 123
6.2. Механизм формирования высокоупорядоченных графитных пленок 128
Глава 4. Свойства тонкопленочных наноуглеродных материалов
1. Автоэлектронная эмиссия из наноуглеродных пленок 134
2. Аномальное комбинационное рассеяние света в графитных плёнках 138
Заключение 145
Список публикаций и докладов по результатам, представленным в работе 147
Список литературы
