Форвакуумный импульсный плазменный источник электронов для модификации поверхности диэлектрических материалов
Юшков, Юрий Георгиевич. Форвакуумный импульсный плазменный источник электронов для модификации поверхности диэлектрических материалов : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.20 / Юшков Юрий Георгиевич; [Место защиты: Нац. исслед. Том. политехн. ун-т].- Томск, 2012.- 104 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/301
