Введение
Глава 1. Современные представления о электрофизических свойствах металлоксидных полупроводников 10 и механизмах газовой чувствительности в них .
1.1. Электрофизические свойства полупроводниковых пленок диоксида олова
1.2. Стабилизация электрофизических свойств пленок диоксида олова 19
1.3. Химические свойства SnO2 22
1.4. Способы изготовления пленок SnO2 23
1.4.1. Изготовление пленок диоксида олова методом реактивного магнетронного распыления 23
1.4.2. Вакуумное нанесение тонких пленок 25
1.5. Механизмы газовой чувствительности поликристаллических пленок SnO2 30
1.6. Механизмы рекомбинации неравновесных носителей в полупроводниках после световой генерации 36
1.7. Влияние освещения на газочувствительные свойства полупроводников 41
Выводы к главе 1 52
Глава 2. Методы исследования фотоэлектрических и газосенсорных процессов в пленках диоксида олова
2.1. Конструкция и технология изготовления микроэлектронных датчиков газов 53
2.2. Методика легирования чувствительных элементов датчиков газов примесями серебра и палладия 61
2.3. Установка для измерения параметров и характеристик датчиков газов 62
2.4. Методика измерения газовой чувствительности микроэлектронных датчиков газов 66
2.5. Методика исследования свойств микроэлектронных датчиков газов при воздействии подсветки 69
Глав 3. Исследование влияния света и газов – восстановителей на электросопротивление пленок SNO2 при комнатной температуре . 72
3.1. Влияние света на электросопротивление нелегированного чувствительного элемента датчика газов на основе пленок SnO2 72
3.2. Влияние паров газов–восстановителей на газовый отклик чувствительного элемента датчика газов на основе пленок SnO2 101
Выводы к главе 3 110
Глава 4. Исследованне влияния примесной модификации поверхности сенсора катализаторами и светового воздействия на величину газового отклика
4.1. Исследование влияния фиолетового и зеленого света на газовую чувствительность сенсоров на основе SnO2
4.2. Исследование влияния поверхностной модификации сенсорных слоев SnO2 примесями Ag и Pd на газовый отклик датчиков газов
4.3. Влияние светового воздействия на газовый отклик поверхностно-модифицированных серебром и палладием пленок SnO2 133
Выводы к главе 4 144
Основные результаты работы 146
Список использованной литературы
