Введение
1 Фотонные кристаллы и литография. Обзор литературы . 29
1.1 Понятие фотонного кристалла. История возникновения 30
1.2 Трехмерные фотонные квазикристаллы 46
1.3 Двухмерные фотонные кристаллы и квазикристаллы 51
1.4 Микростереолитография как метод синтеза трехмерных структур произвольной формы 54
1.5 Композитные и нелинейные материалы для синтеза фотонных кристаллов 61
1.5.1 Нанокомпозитные материалы на основе фоторезиста для синтеза фотонных кристаллов 61
1.5.2 Запись х решеток в одномерных фотонных кристаллах 64
2 Метод интерференционной литографии при синтезе трех мерных фотонных кристаллов . 72
2.1 Теоретическое исследование возможности оптимиза ции схемы синтеза фотонных кристаллов методом интер-ференционной литографии
2.2 Разрешающая способность метода интерференционной литографии при синтезе фотонных кристаллов в фоторезисте SU-8 84
2.3 Выводы к главе 2 96
Зонная структура аппроксимантов трехмерных квази кристаллов и кристаллов с большим количеством узлов в элементарной ячейке трансляции . 98
3.1 Двухмерные аппроксиманты фотонных кристаллов, полу
ченные методом голографической литографии 99
3.1.1 Геометрическая структура 99
3.1.2 Метод вычислений зонной структуры аппроксимантов квазикристаллов 103
3.2 Зонная структура фотонного кристалла с симметрией решетки клатрата Si 34 117
3.3 Зонная структура трехмерных фотонных аппроксимантов квазикристалла 124
3.4 Выводы к главе 136
Синтез трехмерных объектов произвольной формы при помощи интерференционной литографии 138
4.1 Описание метода создания трехмерных объектов произвольной формы с помощью интерференционной литографии. 139
4.2 Амплитуды интерферирующих волн 142
4.3 Параллельный синтез многих идентичных элементов. 151
4.4 Освещение с направлений, охватывающих углы 4л" и 27Г стерадиан 154
4.5 Конструкция установки для практической реализации предлагаемого метода стереолитографии 156
4.6 Выводы к главе 161
5 Композитные и нелинейные материалы для синтеза фотонных кристаллов 162
5.1 Нанокомпозитные материалы на основе фоторезиста для синтеза фотонных кристаллов 163
5.1.1 Модель Максвелла-Гарнетта 164
5.1.2 Модель Бруггемана 165
5.1.3 Пределы Винера 166
5.1.4 Синтез суспензий наночастиц диоксида титана 167
5.1.5 Исследование эффективного показателя преломления суспензий наночастиц ТЮ2 171
5.1.6 Синтез нанокомпозитного фотоматериала фоторезист SU-8 - наночастицы диоксида титана 174
5.1.7 Исследование уровня рассеяния нанокомпозитного фотоматериала 176
5.1.8 Исследование фоточувствительных свойств нанокомпозитного материала фоторезист/наночастицы 179
5.2 Запись х -решеток в одномерных фотонных кристал лах.Построение модели, описывающей процесс генерации второй гармоники в одномерных фотонных кристаллах. 180
5.2.1 FDTD метод 180
5.2.2 Решение модельных задач методом конечных разностей во временной области 184
5.2.3 Процесс формирования х -решеток в фотонном кристалле 191 5.2.4 Расчет эффективности преобразования излучения
во вторую гармонику в одномерном фотонном кри
сталле из изотропного материала 196
5.3 Выводы к главе 5 198
Заключение 200
Литература 204
