Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 14
1.1, Полупроводниковые сенсоры 15
1.2.Металлопорфирины 20
1.2.1. Физико-химические свойства порфиринов 20
1.2.2. Полупроводниковые свойства металлопорфиринов 31
1.2.3. Газочувствительные свойства фталоцианшюв 34
1.2.4. Использование металлопорфиринов в качестве сенсоров 40
ГЛАВА 2. Электрофизические и газочувствительные свойства тонких пленок фталоцианина свинца и металлокомплексов этиопорфирина-п в вакууме.морфология 46
2.1. Модельный объект исследований - фталоцианин свинца РВРС 46
2.1.1. Структура молекулы и ее особенности 46
2.1.2. Электрофизические свойства пленок РЬРс в вакууме 48
2.1.3. Сенсорные свойства РЬРс в вакууме 51
2.2. Основные объекты исследования и приготовление образцов 56
2.3. Получение сенсорных элементов 57
2.3.1. Подготовка подлооюек 58
2.3.2. Получение тонких пленок этиопорфирилов 59
2.4. Темновые электрофизические свойства напыленных тонких пленок мер в вакууме 61
2.5. Исследование сенсорных свойств МЕР в вакууме 64
2.6. Оптические особенности пленок в видимой области спектра 69
2,7. Морфологил и структура поверхности напыленных тонких пленокмер 72
ГЛАВА 3. Определение аммиака в атмосферном воздухе. факторы, влияющие на чувствительность мер каммиаку и их оптимизация 78
3.1. ИК-Спектральное исследование процессов, сопровождающих взаимодействие пленок металлопорфиринов с аммиаком 78
3.2. Установка для исследования сенсорных свойств в протоке 81
3.2.1. Калибровка нагревателей и стабилизация температуры 84
3.1.1. Схема измерения проводимости образцов 87
3.1.2. Методика калибровки концентрации аммиака 87
3.3. Влияние температуры на проводимость напыленных сенсорных слоев металлокомплексов этиопорфирина-П 88
3.4. Влияние уф-освещения на проводимость напыленных сенсорных слоев металлокомплексов этиопорфирина-П 90
3.5. Влияние аммиака на проводимость пленок мер 93
3.5.1. Кинетические закономерности 93
3.5.2. Влияние температуры и фотовоздействия на чувствительность различных МЕР к аммиаку 97
3.5.3. Чувствительность тонких пленок МЕР к парам воды и ее влияние на чувствительность определения аммиака 104
3.5.4. Стабильность и воспроизводимость отклика СоЕР во времени 107
Выводы по третьей главе ш
Выводы 112
Список литературы 113
