Введение
Глава 1 Современное состояние исследований в области генерации объемной плазмы в тлеющих разрядах низкого давления с полым катодом 13
1.1 Генерация плазмы в тлеющих разрядах с полым катодом 14
1.2 Влияние инжекции электронов на однородность плазмы в тлеющем разряде с полым катодом . 28
1.3 Разрядные системы для формирования потоков электронов и плазмы. 37
1.4 Основные закономерности технологии азотирования 43
1.5 Выводы и постановка задач исследований 55
Глава 2 Особенности зажигания и горения несамостоятельного тлеющего разряда при токах до нескольких сотен ампер 58
2.1 Методика и техника эксперимента 58
2.1.1 Электродная система установки 58
2.1.2 Выбор разрядной системы источника электронов 62
2.1.3 Описание экспериментальной установки 65
2.1.4 Автоматизированная система для зондовых измерений параметров плазмы 69
2.1.5 Методика измерения азимутальных распределений плотности ионного тока из плазмы. 72
2.2 Тлеющий разряд при низких напряжениях горения. 73
2.3 Основные характеристики тлеющего разряда 77
2.4 Ограничение диапазона рабочих токов несамостоятельного тлеющего разряда 82
2.5 Выводы к главе 2 90
Глава 3 Генератор плазмы на основе несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом 92
3.1 Методика обработка результатов зондовых измерений 92
3.2 Режимы измерения параметров плазмы 93
3.3 Влияние рабочего давления на распределение плотности ионного тока 97
3.4 Влияние напряжения горения на однородность распределения плотности ионного тока 100
3.5 Влияние тока тлеющего разряда на распределение плотности ионного тока 102
3.6 Влияние соотношения площадей анода и катода на азимутальное распределение плотности ионного тока 107
3.7 Оптимальная форма сеточного анода источника электронов 108
3.8 Генератор объемной низкотемпературной плазмы для обработки поверхностей материалов и изделий 119
3.9 Азотирование деталей в плазме несамостоятельного тлеющего разряда 121
3.10 Выводы к главе 3 122
Глава 4 Азотирование титана в плазме импульсного тлеющего разряда 125
4.1 Методика и техника эксперимента 125
4.2 Результаты азотирования титана ВТ1-0 129
4.3 Время релаксации импульсной плазмы 135
4.4 Спектрометрические измерения состава плазмы 137
4.5 Выводы к главе 4 142
Заключение 145
Список литературы 150
Приложения 164
