Введение
1. Особенности генерации плазмы в двухступенчатых газоразрядных системах 10
1.1. Генерация плазмы в двухступенчатых газоразрядных системах 10
1.2. Применение многополюсных магнитных систем в источниках ионов 21
1.3. Свойства газоразрядного плазменного катода с сеточной стабилизацией 36
1.4. Выводы и постановка задач исследований 46
2. Генерация плазмы в двухступенчатой газоразрядной системе с многополюсным магнитным полем в области анода 48
2.1. Принцип работы и конструкция газоразрядной системы 48
2.2. Вольтамперные характеристики разряда с полым катодом 52
2.3. Параметры и ионно-эмиссионные свойства анодной плазмы 55
2.3.1. Параметры анодной плазмы 55
2.3.2. Эмиссионные свойства анодной плазмы 59
2.4. Особенности работы плазменного катода в двухступенчатой газоразрядной системе 65
2.4.1. Потенциал катодной плазмы и режимы эмиссии плазменного катода. 65
2.4.2. Устойчивость биполярного диода между плазмой первой и второй ступени 75
2.4.3. Влияние площади плазменного катода на эмиссионные и энергетические характеристики газоразрядной системы 86
3. Формирование пучка в ионно-оптических системах с протяжённым ионным слоем между плазмой и экранным электродом 95
3.1. Конструкция ионно-оптической системы 99
3.2. Угловая расходимость пучка ионов 102
3.2.1. Зависимость угла расходимости от первеанса 102
3.2.2. Зависимость оптимального значения первеанса от напряжения на ионном слое 106
3.2.3. Влияние напряжения на ионном слое на эффективность извлечения ионов из плазмы и минимальный угол расходимости пучка 108
3.2.4. Влияние давления газа на эффективность извлечения ионов 116
3.3. Экспериментальное исследование процессов в области распространения ионного пучка 121
3.3.1. Схема эксперимента 121
3.3.2. Баланс токов на электроды модифицированного цилиндра Фарадея 127
3.3.3. Результаты экспериментов с модифицированным цилиндром Фарадея 130
4. Источник широких пучков ионов газов с сетчатым плазменным катодом и магнитным мультиполем в области анода 138
4.1. Конструкция ионного источника 138
4.2. Рабочие характеристики источника 145
Заключение 150
