Введение
ГЛАВА 1. Дуговой разряд в импульсных плазменных источниках электронов 10
1.1 Особенности инициирования дугового разряда 10
1.2 Функционирование дугового разряда с катодным пятном и генерация плазмы 18
1.3 Дуговой разряд в плазменных источниках электронов 25
1.4 Применение импульсных электронных пучков для обработки диэлектрических материалов в форвакуумном диапазоне давлений 34
1.5 Выводы и постановка задач исследований 40
ГЛАВА 2. Инициирование дугового разряда с катодным пятном в разрядной системе форвакуумного импульсного источника электронов 42
2.1 Техника и методика эксперимента 42
2.2 Особенности инициирования дугового разряда в форвакуумном диапазоне давлений 46
2.3 Моделирование процессов инициирования дугового разряда 54
2.3.1 Модель инициирования разряда 55
2.3.2 Результаты расчетов и сравнение с экспериментальными данными 59
2.4 Выводы 62
ГЛАВА 3. Функционирование дугового разряда с катодным пятном в форвакуумном плазменном источнике электронов 63
3.1 Техника и методика эксперимента 63
3.2 Параметры и характеристики дугового разряда 67
3.3 Спектры оптического излучения плазмы дугового разряда 73
3.4 Масс-зарядовый состав плазмы дугового разряда 77
3.5 Радиальное распределение концентрации эмиссионной плазмы дугового разряда 84
3.6 Выводы 87
ГЛАВА 4. Генерация широкоапертурных импульсных низкоэнергетичных электронных пучков в дуговом форвакуумном плазменном источнике 89
4.1 Техника и методика эксперимента 89
4.2 Эмиссионные свойства плазмы импульсного дугового разряда в форвакуумной области давлений 93
4.3 Особенности формирования широкоапертурных импульсных электронных пучков дуговым плазменным источником в форвакуумном диапазоне давлений 105
4.4 Параметры плазменного источника электронов на основе дугового разряда с катодным пятном 111
4.5 Выводы 114
ГЛАВА 5. Электронно-лучевая обработка диэлектрических полимерных материалов 116
5.1 Техника и методика экспериментов 117
5.2 Обработка полимеров импульсным электронным пучком в форвакуумном диапазоне давлений 119
5.3 Выводы 127
Заключение 128
Список литературы
