Введение
Глава I. Физико-химические особенности поведения ИВП 7
1.1. Основные черты поведения примесей в арсениде галлия 7
1.2. Изовалентные примеси ..., 17
1.3. Физико-химические взаимодействия в системах GaAs -ИВП 27
1.4. Влияние ИВП на свойства GaJU 41
1.5. Постановка задачи диссертационной работы 53
Глава 2. Исследование гетерогенных равновесий в системе GctJU-Bi 55
2.1. Изучение фрагментов диаграммы состояния системы GCQ -As-ВС методом ДТА 55
2.2. Измерение давления пара в системе Ga-JU-Bil методом Кнудсена 60
2.2.1. Аппаратура и методика эксперимента 60
2.2.2. Экспериментальные результаты ..... 72
2.3. Обсуждение результатов 78
Глава 3. Изучение влияния условий ЖФЭ на основные характеристики эпитаксиальных слоев
3.1. Аппаратура 79
3.2. Методика эксперимента 84
3.2.1. Подготовка аппаратуры и исходных материалов 84
3.2.2. Режимы выращивания эпитаксиальных слоев 88
3.3. Характеристики эпитакспальных слоев. GaJU .. 94
3.3.1. Морфология поверхности 94
3.3.2. Толщина слоев 101
3.3.3. Структурные характеристики слоев 106
3.3.4» Состав и химическая однородность 113
3.3.5. Построение кривых фазовых равно
весий в системе QaAs-bi 123
3.4. Обсуждение результатов 129
Глава 4, Исследование электрофизических и оптических сеойств эпитак спальных слоев G:a.As 131
4.1. Электрофизические параметры эпитаксиальных слоев 131
4.1.1. Методика исследования 131
4.1.2. Экспериментальные результаты .... 133
4.2. Спектры фотолюминесценции эпитакспальных слоев 139
4.2.1. Методика исследования 139
4.2.2. Экспериментальные результаты ....
4.3. Обсуждение результатов 1*7
Общие выводы 1*9
Литературы 151
