Введение
Глава I. Классификация и анализ современных оптических методов контроля геометрических параметров поверхности
1.1. Методы с формированием и обработкой оптического изображения 14
1.2. Муаровые методы 18
1.3. Методы с использованием спекл-структуры излучения 26
1.4. Голо графические методы. 32
1.5. Методы классической интерферометрии 42
1.6. Комбинированные методы 49
1.7. Выводы и обоснование выбора методов решения
задач диссертации 52
Глава II. Описание процесса формирования топограммы с помощью корреляционных функций волновых полей
2.1. Обобщенное уравнение топограммы сфокусированного изображения. 56
2.2. Одноэкспозиционные методы с использованием частичной когерентности освещающего излучения 61
2.3. Методы, основанные на пространственной корреляции спекл-структур 66
2.4. Выводы.
Глава III. Модифицированные голографическив методы измерения отклонений формы, поверхности отражающих изделий
3.1. Чувствительность голографической топограммы и факторы ее ограничения 71
3.2. Голографическая сфокусированная топограмма с повышенной чувствительностью. Способ компенсации сдвига микроструктуры излучения 84
3.3. Отражательная голографическая, топограмма 87
3.4. Влияние шумов различной природы на контраст отражательной топограммы 98
3.5. Отражательная интерферограмма сдвига III
3.6. Муаро-голографическая топография с дифракционной решеткой 115
3.7. Выводы 122
Глава ІV. Разработка и экспериментальное исследование методов спекл-топографии
4.1. Особенности спекл-фотографии 126
4.2. Спекл-топографияі с маскированной апертурой. 127
4.3. Рефлексная спекл-топография 131
4.4. Рефлексная спекл-топография в частично когерентном излучении 138
4.5. Спекл-топографияі с круговой апертурой (СТКА). 142
4.6. Экспериментальное исследование метода СТКА. 148
4.7. Погрешности методов спекл-топографии 153
4.8. Выводы 158
Заключение 161
Литература 164
Приложения (акты внедрения). 177
