Химическое осаждение пленок нитрида и карбонитрида бора из паров летучих соединений бора
Косинова, Марина Леонидовна. Химическое осаждение пленок нитрида и карбонитрида бора из паров летучих соединений бора : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Новосибирск, 2000.- 164 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-2/196-9